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六氟丁二烯

分子式:C4F6
分子量:162
CAS 號:685-63-2

項目 指標
外 觀 無色,不渾濁
六氟丁二烯含量 ≥98%
水份 <50PPm(V)
N2 <80PPm(V)
O2 <20PPm(V)
CO2 <20PPm(V)


性 狀: 易燃、有毒、無色、無味的剛瓶裝液化壓縮氣體,吸入有害,與空氣混合后,濃度達到7%時,有立即燃燒和爆炸危險
用 途: 半導體的等離子蝕刻,優良的干蝕刻氣體。含氟橡膠、合成含氟彈性體和電性能優良的樹脂
貯 存: 貯存在陰涼通風處,容器保持密閉。貯存在原容器中的溫度不超過50℃。避免陽光直射。注意不要與氧化劑一起混貯。遠離煙火。
運 輸: 按照壓縮氣體和液化氣體有毒氣體標準運輸
包 裝: 10L或47L鋼瓶壓縮包裝, 或依客戶要求包裝

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